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真空泵用真空泵油，真空泵油是一种专门为真空设备上的真空泵而研制的润滑油，分矿物油和合成油两种。真空泵油适用于往复式增压泵、机械增压泵和油封机械真空泵等使用，亦可用于各种扩散真空泵等。推荐用于工艺品、陶瓷、化学等领域的真空泵使用。
性能特征：
氧化稳定性：长期在高温条件下与空气、树脂、化学原料等直接接触亦不易变质，减少有害漆膜和油垢的形成，提供较长的换油周期。
防锈防腐蚀性：能在金属表面形成非常有效的防腐膜，从而可以全面防止因吸入腐蚀性气体和水分而导致的系统腐蚀。
能迅速将油液中夹带的水分分离出来，达到所需的真空度。
具较底的蒸汽压，防止油品从泵的内腔向真空系统返流扩散造成返油。从而保证有足够的极限真空。
1、尽量用同一类真空泵油或性能相近、添加剂类型相似的泵油代用。
2、合适的粘度和良好的粘温特性。粘度要相当，代用的真空泵油的粘度以不超过原用油粘度±25%为宜。一般情况，应优先考虑粘度稍大的泵油进行代用。水循环真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
3、质量以高代低，即选用质量高一档的真空泵油代用，这样对设备润滑比较可靠。同时，还可延长使用期，经济上也合算。
4、选用代用泵油时还应注意考虑设备的环境与工作温度。对工作温度变化大的机械设备，代用油的粘温性要好一些；对于低温工作的机械，选择代用油的凝点要低于工作温度10℃以下；而对于高温工作的机械，则要考虑代用油的闪点要高一些，氧化安定性也要满足使用要求。
5、极低的蒸气压：这是真空润滑油的一大特性，由于真空泵对真空度要求很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
6、良好的抗腐蚀性和抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件，吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起润滑油的乳化并使金属腐蚀，所以要求润滑油具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
7、良好的热氧化安定性：由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求润滑油具有良好的热氧化安定性。
8、较低的极限压力：极限压力是润滑油重要的使用性能指标。
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